APARELHOS, INSTRUMENTOS E MÁQUINAS E INSTALAÇÕES MECÂNICAS CONSISTINDO DASMESMAS PARA O TRATAMENTO E/OU FABRICAÇÃO DE SEMICONDUTORES, SILÍCIO, SUBSTRATOS,LINGOTES, CÉLULAS SOLARES, LÂMINAS DE SILÍCIO, PLAQUETAS, SEMICONDUTORES COMPOSTOS,DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES, SEMICONDUTORES DE POTÊNCIA, DIODOS DE EMISSOR DE LUZ(LED), PRODUTOS MICRO-MECÂNICOS (MEMS), PRODUTOS DE TECNOLOGIA DE PELÍCULAFINA, PRODUTOS DE TECNOLOGIA DE SENSORES, PRODUTOS DE NANO-TECNOLOGIA (NEMS,CNT) E PRODUTOS DE PROCESSO TERMICAMENTE ATIVADOS; APARELHOS DE REVESTIMENTODE PLASMA À VÁCUO; APARELHOS E REATORES PARA A SEPARAÇÃO DO VAPOR EMSUPERFÍCIES (CVD-REACTORS); APARELHOS, INSTRUMENTOS E MÁQUINAS PARA OFORNECIMENTO, ACONDICIONAMENTO, LIMPEZA E RECUPERAÇÃO DE LÍQUIDOS E GASES;APARELHOS MECÂNICOS, INSTRUMENTOS E MÁQUINAS E APARELHOS CONSTITUINDO DASMESMAS PARA A MANUTENÇÃO MECÂNICA E DE TRANSPORTE DE SEMICONDUTORES,SUBSTRATOS, PLAQUETAS E CÉLULAS SOLARES.;